LAUDA Semistat 等离子刻蚀温度控制系统S 2400
LAUDA Semistat 等离子刻蚀温度控制系统，通过对静电卡盘 (ESC，E-chuck) 的动态……...
MD 4C EX VARIO +AK+EK VARIO®化学真空系统
MD 4C EX VARIO +AK+EK VARIO®化学真空系统
通过使用新型的ATEX VARIO®化学隔膜泵和化学真空系统，真空度可以精准地通过电机速度调控。VARIO®真空泵可以通过一条额外的控制信号线进行驱动。带有 ATEX 真空传感器和Connection Box 100的可选真空控制器 VACUU·SELECT 可实现全自动蒸发，无需参数设置或用户编程。在适应性控制作用下，系统可以独立找到沸点压力、持续调节真空度并且根据蒸汽压力进行优化。
真空控制器和Connection Box 100都安装在非爆炸区域。
MD 4C EX VARIO +AK+EK VARIO®化学真空系统特点
具备ATEX防爆化学隔膜泵的所有优点，带进气口收集瓶AK和出气口冷凝器EK
无滞后的VARIO®真空控制，使过程时间更短
VARIO®-真空泵仅根据需求的大小来调节转速-最小的能耗，更长的维护周期，运行安静
CVC3000真空控制器（可选件），可实现精准的真空控制和全自动的工艺
ATEX真空传感器和ConnectionBox100易于安装——一站式
极限真空：3mbar
开启气镇的极限真空：10mbar
最大抽速50Hz：3.7m³/h
订货号20696937
MD 4C EX VARIO +AK+EK VARIO®化学真空系统参数
| 最大抽速50Hz | 3.7m³/h | |
| 极限真空 | 3mbar/2.3torr | |
| 开启气镇的极限真空 | 10mbar/7.5torr | |
| 泵头数 | 4 | |
| 级数 | 3 | |
| 真空控制器 | 无控制器 | |
| 最低环境温度（运行），单位：℃。 | 10°C | |
| 最高环境温度（运行），单位：℃。 | 40°C | |
| 最低环境温度（存放），单位：℃。 | -10°C | |
| 最高环境温度（存放），单位：℃。 | 60°C | |
| 最大出气口压力(绝对压力) | 1.1bar | |
| 进气口连接 | KFDN25小法兰 | |
| 出气口连接 | 软管喷嘴接头DN8-10mm | |
| 冷却液接口 | 2个DN6-8mm软管喷嘴接头 | |
| 额定功率（千瓦） | 0.25kW | |
| 最小速度VARIO，单位：min-1 | 30min-1 | |
| 最大速度VARIO，单位：min-1 | 1500min-1 | |
| 额定速度，单位：50/60Hz | 1500min-1 | |
| 防护等级 | IP54 | |
| 尺寸长mm | 600mm | |
| 尺寸宽mm | 365mm | |
| 尺寸高mm | 420mm | |
| 重量 | 36kg | |
| 噪音水平50Hz/1500Upm/62%(VARIO)/1500Upm(VARIO-SP)/12500Upm(VACUU·PURE®) | 42dBA | |
| ATEX-认证 | 抽气腔（所抽气体）：II2GExhIICT3GbX,使用惰性气体吹扫的环境：II2GExhIIBT4GbX,不使用惰性气体吹扫的环境：II3GExhIIBT4GcX,Motor:II2GExdbIIBT4Gb | |
| NRTL标准 | 否 | |
| 提供的选项 | 泵体安装完毕，连接即可使用，配2米无插头电缆，附带说明书。用户需自行提供外部保护以防止玻璃损坏或破裂。 | |
| 标称电压范围1 | 230V | |
| 电源频率1 | 50Hz |
MD 4C EX VARIO +AK+EK VARIO®化学真空系统技术
最大抽速50Hz
50Hz下的抽气曲线（100升容积）
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